中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9237638 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、さまざまなチップ製造プロセスで使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジスト（photoresist）は、電子機器の部品を形成するために使用される材料である。光にさらされると化学的・物理的性質が変化する感光性ポリマーです。フォトレジストは、金属の堆積、エッチングパターンの作成、チップの断熱層の形成に使用できます。FSI Mercuryシステムは、優れた性能を提供する高度なフォトレジストツールです。ステップアンドリピート機能を備えたステッピングユニットと、高効率なキセノンランプ光源を使用した広域露光機で構成されています。大面積露光ツールを使用すると、大幅な時間短縮で製造プロセスを完全に自動化できます。また、高解像度、一貫したパフォーマンス、フォトレジスト資産との優れたコントラストを提供します。TEL Mercuryモデルには、自動ウェーハ処理装置と自動アライメントシステムも搭載しています。ウェーハハンドリングユニットは、露出ツールにウェーハを正確に制御および配置することができます。自動アライメントマシンは、高度なアルゴリズムを使用して高精度のパターン配置を実行します。これにより、結果の精度が非常に一貫して再現可能になります。このツールは、ウェーハに光をろ過して導くように設計された専門光学系の配列を利用しています。これは、高精度のパターニング装置に不可欠な均一で強力な光強度を可能にします。さらに、光学系は光を変調して異なる光学効果を達成し、露光時間を制御することができます。Mercuryアセットは、高精度チップ製造のための汎用性と強力なツールです。精密な制御、優れたコントラスト、均一な光強度、正確なアライメントを提供し、半導体デバイスの高効率生産を可能にします。このモデルは、チップ製造において最高レベルの性能と信頼性を実現するように設計されており、チップメーカーにとって非常に貴重なツールとなっています。