中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9223674 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、半導体ウェーハ製造に使用されるフォトレジスト装置の一種です。ウェーハ上に高解像度のパターンを形成する際に、精密なリソグラフィ効果を可能にする様々な光学技術を活用した高精度システムです。このユニットは、量産のための最先端の技術を使用して設計されており、経済的に実行可能なデバイスの製造に適しています。機械はいろいろ異なった部品および技術を組み込んでいます。それらはウェーハの表面のレーザーの点サイズを制御するのに使用されるスキャンヘッドを含んでいます；個々の電源制御と周波数補償を備えたショートパルスレーザーダイオードの配列。プロセスを制御するためのモデルコントロールコンピュータ。真空チャンバーもあります。このツールには、酸素-窒素ガス供給資産を備えた統合化学チャンバーもあります。すべてのコンポーネントは三軸モーションコントローラによって統合されており、モデルはウェーハ上に所定の位置にレーザービームを正確に配置することができます。フォトレジスト装置の光学特性は、望ましいパターンを正確に形成する上で重要な役割を果たします。デジタルライトマスクは、レーザーダイオードと組み合わせてウェーハ上に光線パターンを作成し、フォトレジスト材料にさらされます。露出した材料を開発し、レーザダイオードパターンに基づいてウェーハ上にエッチングパターンを生成します。光学部品に加えて、システムには化学的に補助されたエッチング技術のセットも含まれています。これらの技術は、さまざまな種類の材料をエッチングするためのさまざまなオプションを提供するために策定されています。例えば、等方性エッチングは均一または異方性の特徴をエッチングするために使用することができ、反応性イオンおよびプラズマエッチングはより小さく、複雑で、高解像度のパターンを作成するために使用することができます。FSI Mercuryは半導体産業が複雑な電子部品を作成するのを助ける革新的な写真撮影ツールです。これは、経済的に実行可能なデバイスの製造に適した堅牢で信頼性が高く、正確なユニットを提供します。さらに、高精度で高度な技術により、精度と解像度を継続的に向上させることができます。このフォトレジストツールは、さまざまな材料で高解像度の機能を生成することができ、製造時間の短縮と半導体産業のコストの削減につながります。