中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9221786 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、減圧エッチングのためのフォトレジスト装置です。このシステムは一連の光学部品を使用して、基板表面に均一で正確なマスクパターンを作成します。フォトレジスト（Photoresist）は、基板に塗布し、強烈な光源にさらすことができる感光性フィルムです。光源は、使用されるフォトレジスト材料の種類に応じて、UVまたは可視光のいずれかにすることができます。露出したフォトレジスト材料は、化学開発者またはホットプレート開発者と共に開発されます。開発されたレジストパターンは、エッチング中に基板に転送されます。FSI Mercuryは、シリコン、石英、金属などの幅広い材料で精密な3次元パターニングを製造することができます。ユニットはマスクレスステッパーを使用して、マスクを基板上に正確に配置します。この位置決めの精度により、非常に細かい分解能パターンを作成できます。さらに、ステッパーの精度は、生成されたレジストパターンが一貫して再現可能であることを保証します。このマシンはまた、基板の正確な光学イメージングを保証するために、アメロイド、投影、ダイオードレーザーなどの多くのイメージング光学系を使用しています。これにより、製造されたウェーハ表面パターンの非常に高い解像度を得ることができます。さらに、統合されたグローバルイルミネーションマッピングにより、ウェーハのすべての表面が均等かつ一貫して露出します。TEL Mercuryは、温度、圧力、化学溶液など、さまざまなプロセス制御を備えており、多数の抵抗開発およびエッチングプロセスを可能にします。この範囲のプロセス制御により、金属、石英、ポリシリコン、ICなどの材料のエッチングプロセスを簡単に設定できます。さらに、Mercuryはエッチング処理を簡素化するために設計されたさまざまなソフトウェアツールを備えています。これらのツールは、デジタルモニタリングとイメージングおよびエッチングパラメータの制御を提供し、最適なパターンを確実に生成するのに役立ちます。さらに、このツールには、自動レジスト開発や特定のユーザー要件のためのレシピを保存および保存する機能などの機能が含まれています。TOKYO ELECTRON MERCURYは、様々なエッチング工程において精密レジストパターンを生成するために設計されたフォトレジスト資産です。これは、ユーザーが最適な結果を得るためにモデルを構成するのを助けるために、さまざまなイメージング光学およびプロセス制御が含まれています。さらに、エッチングプロセスを簡素化し、レジストパターンが一貫して再現可能であることを確認するために、さまざまなソフトウェアツールが提供されています。