中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9207178 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON水銀フォトレジスト装置は、FSIの最先端のレジスト管理ソリューションで、バッチ処理と最先端のフォトレジスト処理とイメージング制御を容易にします。FSI Mercuryシステムは、露出の均一性の向上、パターンプロファイルの制御の向上、収率とスループットの向上、プロセスの信頼性の向上などの利点をユーザーに提供します。TEL Mercuryユニットは、先進的な光学センサーを活用し、フォトレジストや画像構造の様々な層の特性をリアルタイムに測定・記録します。このデータは、結果に応じてレジストパラメータ（厚さ、抵抗率など）を調整する高速アルゴリズムに供給されます。これにより、レジストは、顧客とプロセスの正確な要件を表すために調整することができます。また、高感度データ解析ツールを組み合わせることで、新たな露出やコーティングの効果を印刷工程でモニタリングすることができます。これにより、厚さや抵抗などの構造の予期しない変化や、全体的な印刷の均一性を特定できます。Mercuryツールの高度なオートメーション機能により、最も困難なパターンを持つすべてのバッチが確実に処理され、確実かつ正確に画像化されます。アセットは、マルチピッチパターンを含むファインパターンのインサイドアウトプリントを制御することができ、効率的で正確な微細な投影を可能にします。さらに、予期しない変動が検出された場合にモデルがコールして修正措置を実施し、生産のすべてのフェーズが制御されるようにします。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY装置は、リアルタイム歩留まりシミュレーションも提供しています。この機能は、予測してすぐに実行できる詳細なステータスと予測修正を提供するのに役立ちます。これは、プロセスが最適化され、任意のパターンが所望の範囲内で印刷されることを保証するのに役立ちます。全体として、FSI Mercuryフォトレジストシステムは、露出の均一性の向上、パターンプロファイルの制御の向上、プロセスの信頼性の向上などの利点をユーザーに提供する高効率で高度な製品です。薄膜プロセス、電子デバイス製造、フラットパネルディスプレイ製造、およびその他の高度なフォトレジスト用途に最適です。