中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9199857 を販売中

FSI MERCURYは、集積回路（IC）製造用の大型リソグラフィックマスクの製造用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムにより、フォトリソグラフィ処理を高精度かつ費用対効果の高い方法で完了することができます。このフォトレジストユニットは、ラインの柔軟性とクリアランス制御のかなりの程度を確保するためにマイクロミラー投影技術で設計されています。プログラム可能なマスクの執筆機械は150nm特徴のサイズを作り出し、8K設計まで貯えることができます。フィルム層の寸法精度は+/-7。5nm以内、50mmデバイスの場合は最大+/-0。5％、 200mm径デバイスの場合は最大+/-0。2％です。1つのデザインを複数の異なるマスクに素早く簡単に変換できるフルオートツールです。信頼性の高いMERCURYアセットにより、より大きなIC用のリソグラフィックマスクを製造する際の正確な制御と精度を実現します。発光ダイオード（LED）を使用してフォトリソグラフィ工程中の露出量を制御するフォトマスクモデルで構成されています。本装置は、光透過格子と反射率の高いコーティングを組み合わせて、マスクを基板と正確にマッチさせ、設計仕様に適合させることができます。FSI MERCURYシステムはまた、エッジと形状が正確に定義されていることを確認するために、コンピュータ制御ビーム書き込みユニットを使用しています。また、独自のオートチューニング機能を備えており、基板層の特性とマスク設計の正確なアライメントを容易にします。最後に、MERCURYツールにはQCオプションが組み込まれており、ユーザーは完成したマスクの完全性を迅速かつ効果的に決定できます。これは、集積回路製造のために最高品質のマスクだけが製造されることを保証するのに役立ちます。FSI MERCURYは、高精度、信頼性、費用対効果を備え、集積回路の生産に不可欠なツールです。