中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9187823 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、最高レベルの精度と信頼性を提供するフォトレジスト機器です。最新のリソグラフィとイメージング技術と高度な光学ユニット設計を組み合わせ、さまざまな基板上にサブミクロンの特徴をパターン化するシステムです。幅広い材料に精密なV溝および溝を形成するための優れたパターン精度、純度、再現性を提供します。マシンの心臓部は、狭帯域紫外光を発するFSI Mercuryイメージランプです。フィルターの組み合わせは、フォトレジストの開発に最適な波長にこの光をブレンドします。最適化された光スペクトルは、最適な強度を維持しながらレジストを急速に硬化させることができます。フォトレジストツールは、高解像度のレーザースキャンされたバイナリ光学素子を9倍率で使用し、細かいパターンを露出させます。 2 の再現可能なアライメント精度に加え、0。5 のピッチサイズを実現し 。設計された機器には、ウェーハ配置ステージと高度な安全機能が備わっています。ステージは、接触特性の正確なパターン化とレジストプロファイルの優れた制御のために45°の傾斜角度を提供します。さらに、光源と基板の間に反射防止フィルムを挿入することで、散乱を低減し、理想的でない表面でも満足のいく照明を確保し、ステージの過熱を防ぎます。最後に、安全インターロックがシステムに設置され、機械が安定した安全な状態になった後にのみUV露出が開始されるようにします。TEL MERCURYフォトレジストユニットは、最高精度のフォトレジストパターンの製造において非常に信頼性が高いことが証明されています。さまざまな基板上に超小型の特徴をパターン化し、正確で再現性のある結果を保証するために使用できます。先進的な光学系、安全機能、傾斜ステージの組み合わせも、幅広いフォトレジスト用途に最適です。