中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9157620 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、大量のリソグラフィ用途向けに設計された汎用性の高い高精度フォトレジスト機器です。立体リソグラフィ、散乱低減、CD制御、エッチングなど、高度なリソグラフィと加工技術を組み合わせたオールインワンシステムです。FSI Mercuryユニットは、精密で高品質なプロセスのための高解像度と安定性を提供します。このマシンは、独自のスキャンツールと高解像度の露出機能を備えており、正確で高速な露出を可能にします。また、Turbine Computer-Aided Manufacturing （TurboCAM）ソフトウェアも搭載しており、層ごとのリソグラフィーパターンを迅速に作成できます。TEL Mercuryは、露出後処理の高度な機能も提供しています。これは、汚染物質や汚染物質由来の欠陥を防ぐ多段前乾燥アセットを含みます。また、スピン速度やスピン方向などのパラメータを最適化するための高性能スピナーを備えており、より大きな湿潤カバレッジと優れた均質な膜厚を実現しています。この幅広い加工選択肢により、生産性が大幅に向上し、一貫した結果が得られます。Mercuryは優れた工具性能も提供しています。高精度のオートフォーカスモデルを搭載しており、ウェーハ形状や表面曲率や高さの変化など、地形の変化を自動的に補正します。これにより、時間の経過とともに可能な限り最高の画像精度と安定性が保証されます。また、露出線量を高精度に制御したり、CDの均一性モニタリングシステムを使用して、微細な不均一性を識別するなど、高度なプロセス制御機能を備えています。TOKYO ELECTRON Mercuryフォトレジストユニットは、高精度と安定性を必要とする大量のリソグラフィ用途に最適です。優れた工具性能、高度な露出後処理機能、露出線量とCDの均一性に対する優れた制御を提供します。その幅広い処理オプションにより、生産性と一貫した結果を得ることができます。