中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9157619 を販売中

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury
ID: 9157619
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1993
Spray cleaning system, 8" 1993 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、回路基板などの電子部品を製造するフォトレジスト機器です。このシステムはフォトリソグラフとエッチングという2つのプロセスを利用しています。フォトリソグラフは、フォトレジストの層を使用して基板表面に回路部品パターンを転送するプロセスです。この段階では、フォトレジストは光にさらされ、希望のパターンはフォトマスクの助けを借りて作成されます。エッチング段階では、エッチング剤を使用して、不要な部品パターンとフォトレジストの周りの他の不要な材料をエッチングします。FSI Mercuryのフォトリソグラフは、TEL Mercury i7と呼ばれる独自の光源を使用しています。この光源は、フォトリソグラフの段階で製造されたコンポーネントが最高品質であることを保証する、幅広いコンポーネント設計とステップのための統合されたソリューションを提供します。また、東京エレクトロンマーキュリーのエッチングステージは、極めて高い精度で部品を製造できるように設計されています。エッチングチャンバーには、エッチングを均等に分配する独自のガス供給ユニットを採用し、エッチング工程を最大化し、高精度な部品を実現しています。さらに、Mercury i7光源はフォトリソグラフ段の温度制御オプションも提供します。この機能は、この段階で部品の熱に関連する問題を回避するのに役立ち、ユーザーがより正確な結果を得ることができます。最後に、機械はまた速いローディングおよびレーザーのナビゲーション・システムのために非常に有効であるように設計されています。これにより、フォトリソグラフとエッチングプロセスに必要な時間を最小限に抑え、全体的な生産性を向上させます。全体として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは信頼性が高く効率的なフォトレジストツールで、これまで以上に正確な電子部品を迅速かつ簡単に作成できます。
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