中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9137915 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、半導体チップ製造のフォトリソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。深紫外線（DUV）レジストを採用しており、フォトリソグラフィックステッパーでの使用を想定して設計されています。このシステムは、自動マシンコントローラ、透明リザーバー、精密スピンコーターを備えたクローズドループ処理ユニットで構成されています。このツールコントローラは、さまざまなウエハサイズと生産量のニーズに対応するように設計されており、スピンコーターを正確かつ正確に制御することができます。コントローラは、アプリケーションごとにプロセス変数を最適化できる統合プロセスデータベースにリンクされています。さらに、このアセットは、各ウェーハの優れたレベリング精度と均一性で結果の高い再現性を備えており、歩留まりと品質の一貫性を保証します。このモデルの貯水池は、透明で低圧のシリコーン貯水池であり、自動フィルム用途に適した正確に設計された転送ボリュームを備えています。希釈樹脂や有機溶剤の使用など、様々なフィルムに使用できるメンテナンスが容易です。スピンコーターは、薄膜を回転させるための高精度デバイスであり、ウェーハ上の水平回転の助けを借りて均等に厚いフィルムを可能にするシリコーンケーキが含まれています。さらに、コントローラはスピンコーターに接続されているため、アプリケーションごとに速度、圧力、時間などのパラメータを正確に調整できます。装置全体は、様々な薄膜、レジスト、誘電体、金属のパターニング用に紫外線（UV）イメージングを提供するように設計されています。単層および二層誘電体に優れた性能を提供し、ダブルパターニングと精密なエッチング選択も可能です。このシステムには、スプレーやスピンコーティングなど、あらゆるタイプの基板に適したさまざまなコーター技術も含まれています。これにより、大規模生産から研究・試験アプリケーションまで、さまざまなプロセスに使用できます。FSI Mercuryは、従来のフォトリソグラフィーシステムと比較してパフォーマンスを向上させる高度な自動フォトレジストマシンです。これは、最大限の柔軟性のために設計されており、ユーザーは単一の機器上で複雑なパターニングプロセスを実行することができます。