中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120352 を販売中

FSI MERCURYは、マクロエレクトロニクスや半導体用途に特化した独自のフォトレジスト機器です。それは物理的な基質に望ましいパターンを移すのに必要なエネルギーを解放するか、または追跡することができる抵抗ポリマーの超薄いフィルムです。このシステムは、基盤液体フォトレジスト材料と開発者および放射線で構成されており、回路作成における回路または部品のイメージを転送することができます。このフォトレジストユニットは、アルミニウム、銅、ガラス、シリコン、半導体、ヒ素ガリウム、石英など、さまざまな基板材料での使用に適した様々な数式で提供されています。紫外線にさらされると、ポリマーが分解してエッチング画像になります。また、横方向の抵抗が高く、アンダーカットや遅延を防止します。FSI MERCURYは、他のフォトレジストよりも優れた性能を発揮する複数の特殊部品を使用しています。機械はフィルムとも呼ばれる重合レジスト材料から始まります。フィルムは、フィルムの品質を向上させるために、スピンコーティング工程で基板に塗布し、紫外線露光で硬化します。さらに、追加の放射線を使用して、プリコーティングされたウェーハに希望のパターンを露出させます。レジストが露出したら、インラインアッシャーを使用して、フッ素ベースの硬化プロセスを介して、露出していないレジストフィルムを回復させることができます。これにより、簡単にフォトリソグラフィーでエッチングすることができます。開発後の段階では、露出した材料をきれいに取り除き、高解像度の画像を残すことが不可欠です。MERCURYフォトレジストツールには、コンタクトマスクを持ち上げるときの解像度と品質を維持するための最高のソリューションを提供する高品質の開発者も含まれています。これにより、基板がエッチングプロセスによって損傷しないことが保証されます。要約すると、FSI MERCURYは薄膜レジストアセットで、複数のコンポーネントとプロセスを利用して画像を基板に転送します。MERCURYは、高度な技術と柔軟性、費用対効果、優れた解像度などの数多くの利点を備え、マクロエレクトロニクスおよび半導体アプリケーションに最適なソリューションを提供します。