中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120351 を販売中

FSI MERCURYは、非常に小型化されたコンポーネント機能の効率的なリソグラフィのために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、高度なDUVデジタルリソグラフィ技術に基づいており、エキシマレーザー照明ユニット、フルオプティカルイメージングマシン、スピンコーター、スピンドライヤーで構成されています。エキシマレーザー照明ツールは、フォトレジスト被覆基板の正確で一貫したパターンを作成するために使用される短波長の露光パターンを生成します。このアセットは、非常に複雑な3Dコンポーネントに使用できるサブミクロン分解能のパターンを生成できます。MERCURYモデルの完全な光学イメージング装置は、従来の光露光システムよりも多くの電力と解像度でフォトレジストコーティングされたウェーハの均一で正確な照明を提供します。統合されたスピンコーターとスピンドライヤーは、均一なスピンコートと乾燥プロセスを提供し、最適な膜厚と正確な表面均質性で生産を可能にします。このハイテク部品の組み合わせにより、FSI MERCURYはより多くのパターン忠実度と高いレベルのパフォーマンスを持つパターンを作成することができます。MERCURYのフォトレジストシステムは、薄い層でも許容可能な欠陥率で高精度の機能を生成することができます。そのデザインは、金属、ポリマー、プラスチック、ガラスなどのさまざまな材料から、幅広い材料を使用することができます。接触から穴から3Dパターンまで、幅広いリソグラフィ用途に対応できます。機械は使いやすく、優れた欠陥解析機能を提供します。サブミクロンのプロセス制御は、正確なマスキングと自動露出スキャンを使用して可能になります。複数のレイヤーに自動露出する精密なフィードバック制御と、幅広いパターンと最適化オプションにより、精度と効率がさらに向上します。このような高感度フォトレジストシステムは、携帯電話カメラ、光学部品、集積回路などのより困難な技術のための優れた解像度、均一性、欠陥低減を提供します。FSI MERCURYの高精度フォトレジストツールは、高精度で再現性のある3D部品のリソグラフィに最適なソリューションです。