中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9116685 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、株式会社FSIが開発した先進的なフォトレジスト機器です。それは最高速度および正確さの大きい、非常に複雑な集積回路の製作を扱うように設計されています。このシステムは、高度なリソグラフィ、蒸着、エッチング、計測プロセスと幅広い基板およびコーティング材料を組み合わせています。これにより、今日の最先端のデバイスで使用される高密度半導体の製造に理想的なツールとなります。FSI Mercuryは、変化する回路設計に適応し、スケーラビリティとパフォーマンスの予測可能性を提供する柔軟なツールプラットフォームを組み合わせています。高度で多機能なリソグラフィーユニットを備えており、画像を機械に入力した瞬間からパターンを正確に処理します。このツールは、+/-3nmの精度で0。25ミクロン以下のフィーチャーサイズを生成するように設計されています。この精度の向上により、よりスムーズで小さな機能の生産が可能になります。TEL Mercuryでは、アルミニウム、銅、コバルト、チタニア、ダイヤモンドのような炭素（DLC）などの金属を含む幅広い材料を提供しています。また、均一な補正を必要としない、非常に均一で均一な薄膜の成膜を可能にするコンフォーマル蒸着システムも含まれています。これにより、3D構造を作成する際の精度が向上します。エッチングプロセスは、誘導結合プラズマ（ICP）技術を使用して、高い選択性と適合性を生み出します。これにより、歪みを最小限に抑えた幅広い機能と構造を製造できます。また、プロセスを厳密に制御する高度なタイミング技術をサポートし、信頼性の高い生産を可能にします。最後に、水星の計測プロセスは、部品とフィルムの両方を正確に測定することができます。高解像度走査型電子顕微鏡（SEM）、近距離走査型光学顕微鏡（NSOM）、原子力顕微鏡（AFM）、その他様々なツールが含まれています。これらのすべては、デバイスの機能とパフォーマンスに関する正確なフィードバックを提供するように設計されています。TOKYO ELECTRON MERCURYは、高性能、スケーラビリティ、予測可能性を提供する高度なフォトレジスト資産です。高度なリソグラフィ、蒸着、エッチング、計測プロセスと高度なプログラマビリティを組み合わせ、複雑な集積回路を製造するための強力なツールをエンジニアに提供します。