中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9099627 を販売中

FSI MERCURYは、FSI Internationalが開発したフォトレジスト機器です。高精度、高精度、費用対効果の高い製造プロセスを可能にすることにより、商業的な関連性を提供する次世代フォトレジスト技術です。MERCURYは、プロセス制御において高いレベルの性能を提供するように設計されており、歩留まりとコスト削減が向上します。このシステムにより、ユーザーは複雑なパターンを迅速かつ効率的に作成でき、市場投入までの時間を短縮できます。さらに、このユニットの高度な機能により、より小さな形状のフィーチャーを精密に制御でき、コストを削減できます。FSI MERCURYマシンは、PCグリッドレス自動プロセス制御を備えています。この技術により、ウェーハや基板上に正確なパターン配置が可能になります。PCグリッドレス技術はまた、繰り返し可能なパフォーマンスを提供し、ユーザーがサイクルタイムとコストを削減するのに役立ちます。このアセットは、エッチング、リソグラフィ、堆積、および他のいくつかのプロセスを含む、さまざまな製造プロセスで使用するように設計されています。さらに、このモデルにはユーザーインターフェイスがわかりやすく、オペレータは優れた結果を得るためにプロセスを迅速かつ微調整することができます。MERCURY装置は幅広い動作範囲を備えており、ユーザーに幅広いプロセスマージンと歩留まり改善を提供します。これは、ユーザーがわずかな労力で異なる基板、プロセス材料、および設計規則に対応できることを意味します。さらに、システムは非常に柔軟で構成可能であるように設計されており、既存のインフラストラクチャに簡単に統合できます。全体として、FSI MERCURYユニットは信頼性と費用対効果に優れたフォトレジストマシンであり、プロセスパラメータをこれまでにない制御で製品の歩留まりと安全性を最適化します。高精度で高収量の製造プロセスに最適です。