中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9093020 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、半導体ウェーハ上の集積回路部品を製造するために設計されたフォトレジスト装置です。システムは、照明ユニット、開発機、フォトレジストツールの3つの部分で構成されています。照明アセットは、エキシマレーザー光源を使用して、回路パターンをウェーハに露出させます。このパターンは、波長、パルス幅、エッチングパターン、露光線量などの露出パラメータを制御することで、光に感光できる材料であるフォトレジストに転送されます。開発モデルは、トラック機器を使用して、高解像度の回路パターンを作成するための費用対効果の高いソリューションを提供します。フォトレジストシステムには、露出回路パターンを開発し、エッチング処理を制御するためのソリューションが含まれています。これは、スピンコートやスプレーコートプロセスなどのさまざまなソリューションを使用して行われます。スピンコートは、ウェーハ表面にフォトレジストの均一で均一な層を堆積させるために回転基板を使用し、スプレーコートはウェーハ上の有機溶液の反応を利用してフォトレジスト層を開発します。このフォトレジストユニットは、溶剤を使用してエッチング処理を制御し、所望の回路パターンを取得します。一般的に使用される溶媒には、ジメチルスルホキシド（DMSO）およびテルピノール-I-ol （T-I-O）がある。これらの溶剤は、ウェーハ表面の化学結合を分解し、フォトレジスト層がパターンに付着するのを助ける責任があります。最後に、FSI MercuryはSpacer技術を使用して、トランジスタ回路の境界を定義するために使用される薄いギャップ充填孔である絶縁層を形成します。スペーサー層は、電気絶縁環境を提供することにより、トランジスタの歩留まりと性能を向上させるのに役立ちます。結論として、TEL Mercuryはウェーハ上の集積回路を製造するための効率的で信頼性の高いソリューションを提供するフォトレジストマシンです。光源、開発ツール、フォトレジスト資産と様々な溶媒を利用して、完全なフォトレジスト製造モデルを形成しています。