中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9073573 を販売中
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販売された
ID: 9073573
ウェーハサイズ: 6" - 8"
Spray processor
(6) Cassettes for 6" wafers
(4) Cassettes for 8" wafers
PLC Controller
15" Touchscreen LCD display
PFA High purity pneumatic operated valve
No metal contamination
In line ultrapure DI water heater
Canister console
Recirculation tank for HF / BOE
Chamber temperature measurement
(52) Modernized helios:
Communication compatible with FSI Mercury over RS232
RJ45 Ethernet communication
Modern and reliable SSR relay
Touch screen display operation
Intuitive user interface
Auto adaptive temperature regulation
High reliability
Events archive
Modernized safety features
Remote control and supervision
Process availability:
B Clean
C Clean
RCA Clean
SC1 Clean
SC2 Clean
Oxide etch
Ozone clean
Piranha clean
Rise and dry
Canister configuration:
1st canister console: H2SO4, HCl, DHF canisters
2nd canister console: H2O2, NH4OH canisters
Flow meter configuration:
H2SO4 - 200 - 2000 sccm
HCl - 30 - 400 sccm
DHF - 200 - 2000 sccm
H2O2 - 30 - 400 sccm
NH4OH - 30 - 400 sccm
Dual exhaust configuration:
(2) Drain
PFA 6" / (6) Position turntable included
Control system with HMI
Valves and PFA lines in process console
Not included:
Filter cartridges
Controller with HMI interface.
FSI MERCURYは、マイクロエレクトロニクス業界で一般的に使用されているシリコンウェーハ上のマイクロおよびナノスケールの機能を正確にエッチングできるように設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジスト技術は、フォトレジストと呼ばれる感光性フィルムを正確な光ベースのパターンにさらすことで、フォトリソグラフィ製造プロセスにおける半導体基板の正確なパターンまたは特徴を作成することを含みます。MERCURYは、他のFSI製品よりも高度で複雑な機能を生産できるように設計されたFSI製品ラインに追加されています。ダイレクトレーザパターニングを採用し、10 μ m以下の焦点サイズで0。1 μ mまでの精度のパターンを作成し、複雑なミクロおよびナノスケールのパターンをエッチングする際に優れた解像度を提供します。このユニットは、他のフォトレジスト製品と比較してエッチング時間の短縮を可能にするユニークな化学機械を備えており、電子ビームパターニングに関連する時間とコストを削減します。化学ツールは、優れた解像度と組み合わせて、また、狭い線がエッジオーバーシュートの存在なしに生成することができることを意味します。FSI MERCURYアセットは、保存性に優れた吸水性が低く、露光範囲も広い。このモデルはまた、オゾンやプラズマ治療を含む複数の無料プロセスでうまく機能し、レジストとTKW （Thermo-Ketone Watersoluble）層の選択性を最適化するのに役立ちます。また、この装置は信頼性が高く、ダウンタイムを最小限に抑えているため、生産プロセスは一貫性があり効率的です。全体的に、MERCURYは、精度と解像度の優れたレベルでマイクロパターンとナノスケールのエッチングを可能にする高度なフォトレジスト製品です。システムの高度な化学ユニットによりエッチング処理が短縮され、優れたストレージ特性と最小限のダウンタイムを備えているため、マイクロエレクトロニクス業界での使用に最適です。
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