中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9073572 を販売中

FSI MERCURYは、集積回路の製造に使用されるフォトリソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。これは、現在の集積回路に見られるような非常に小さな部品の製造に使用される高度なレジスト技術です。フォトリソグラフィーは、パターン化されたマスクを半導体材料に移すプロセスです。この技術は、表面に非常に小さなパターンを作成するために、光に敏感な化学物質を使用しています。MERCURYフォトレジストシステムは、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される最先端のレジスト技術の1つです。FSI MERCURYフォトレジストユニットは、2つの主要な材料で構成されています。photopolymerizableモノマーおよびphotolinker。モノマーが前露ステージを通過し、紫外線にさらされると、基板表面に光分解性フィルムを形成します。このフィルムは、フォトリンカーによって永久的なイメージを作成するためにリンクされています。photorymerizableモノマーは、それがフォトリンカとのクロスリンクを可能にする化学構造を含んでいます、順番に基板表面に永久的なパターンを作成します。Photopolymerizableモノマーとフォトリンカを組み合わせ、基板表面にパターンを形成すると、MERCURYマシンは、可能な限り最高の層間均一性とイメージング性能を提供することができます。このツールは、例外的な定義を生成し、非常に小さな構造を持つアプリケーションのための優れた解像度とライン忠実度を提供します。FSI MERCURYフォトレジスト資産は、非常に低い熱膨張係数、実質的にゼロ粘度、非常に低いガス化率など、非常に幅広い利点を提供します。それはまた高い保存性および速い露出時間を提供します。さらに、非常に高い接着性と透明度を提供し、割れや持ち上げに抵抗する優れた能力を持っています。これらのすべての属性により、MERCURYフォトレジストモデルは集積回路メーカーにとって理想的な選択肢となります。結論として、FSI MERCURYフォトレジスト装置は、高速乾燥時間、熱膨張係数の低さ、優れたイメージング定義、および高いレベルの層間均一性などの補完的な品質を提供します。これらの利点はすべて、MERCURYフォトレジストシステムを高度なレジスト技術であり、集積回路の生産に不可欠なツールです。