中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9065484 を販売中

FSI MERCURYは最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストは、シリカベースまたは他のタイプの光学表面の領域を選択的に遮蔽または露出して、統合された光学部品を形成するために使用されます。MERCURYは、電子ビームの安定性と解像度を備えた熱安定性の高い高度なプロトンビームフォトレジストです。FSI MERCURYフォトレジストシステムは、2コート成形化学、2層平面化トップコート、2コートスピン後の硬化コーティング、および反射率を向上させる2コートインターレベル誘電コーティングの4つのコンポーネントで構成されています。製剤化学は、フォトイニシエーターとレジスト製剤の2つの主要成分で構成されています。フォトライジエータはレジスト形成に不可欠な反応種を生成し、レジスト製剤はフォトレジスト特性を決定するバインダーとして機能します。この2つの成分の濃度を制御することで、望ましいフォトレジストの解像度を得ることができます。2層の平面化トップコートは、フォトレジストへの露出時に平らな平面面を作成します。このレイヤーは、フォトレジストパターンの解像度とパターン忠実度を向上させます。露出後の2コートスピン硬化コーティングは、トップコートの平坦化効果を高め、フォトレジストの写真硬化を増加させ、さらに平坦化効果をもたらします。2コートインターレベル誘電コーティングにより、パターン化されたフォトレジスト層の反射率が向上し、光学部品の精度が向上します。MERCURYフォトレジストユニットは、優れた解像度とパターン忠実度を持ち、フォトレジストへのサブミクロン露出を可能にします。吸収係数が低くエッチング係数が低いため、複雑な集積光回路やマイクロオプティクスなど様々な用途に最適です。FSI MERCURYフォトレジストマシンは堅牢で熱安定性があり、産業用途に適しています。また、優れた接着性とエッチング抵抗性を備えており、長期信頼性と再現性に最適です。MERCURYフォトレジストツールは費用対効果が高く、安定性と信頼性を提供するため、高度な統合光デバイスに最適です。