中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9030479 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、半導体などに紫外線や可視光を高精度に照射するフォトレジスト装置です。高信頼性の紫外線露光システムを採用しており、各種基板に使用可能な一貫性に優れています。また、レーザーアライメント機能を備えており、正確なパターニングと強化/散乱のための可動ステージに加えて、。FSI Mercuryは高精度スピンコーターを使用しており、基板上にフォトレジストを正確かつ均一にコーティングできます。このユニットには、回転前の基板加熱など、可変スピン速度や温度制御用のコントローラなどの特殊な機能が組み込まれています。スピンコーターとペアリングされたウェーハステージは、200mmウェーハの容量があります。TEL MercuryのDUV （Deep Utraviolet）光源は、高い露光精度を実現するように特別に設計されており、均一な露光のための光密度調整機を含む幅広い機能を提供します。その位置決めツールは、露出ターゲットが最も効果的な結果を得るために正確に整列されることを保証します。水星の光源には、露光システム間のクロストークを減らすように設計されたシャッター機能もあります。アセットの下部にあるCCDイメージセンサーと一緒に、これは明確で反復可能な露出が達成されることを保証します。3軸コントローラーとオートレベリングテーブルはさらに、揺れを感じずに安定した露出基盤を提供します。また、東京エレクトロンマーキュリーには、スキャンやパターニングのための精密で精密な制御モデルがあります。サイズと形状の両方で高速パターニングが可能で、オンチップパターンの効率的かつ正確な生産が可能です。全体として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYはフォトリソグラフィとスキャンのプロセスにとって貴重で効果的なフォトレジスト機器です。優れた制御性と幅広い機能により、正確で信頼性の高いパターン露出を可能にします。このシステムは、高品質な結果を提供するための信頼できるツールであり、半導体およびフォトマスク製造に最適です。