中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9281186 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OCは、高度なフォトレジスト機器です。フォトレジストは、フォトリソグラフィによって基板上の回路パターンなどの特徴を作成するために使用される光感受性材料です。FSI Mercury OCシステムは、最新の光学コロナ技術を利用して、マイクロエレクトロニクス製造などの薄膜層のパターニングに優れた分解能を提供します。TEL Mercury OCユニットは、メインユニット、プレサイピングユニット、露出ヘッドの3つのモジュールで構成されています。本体は3軸移動段階で、最大900mmまでの基板に対応可能です。このユニットは、高度な設計と3つの高精度サーボモーターシステムの組み込みにより、正確な位置精度と再現性を提供します。プリサイピングユニットはフォトレジストの準備に使用される専用機です。光感受性材料の厚さを正確に測定し、露光プロセスに最適なパラメータを設定できます。このユニットは、ウェーハやフラットパネルなどの幅広い基板に対応することができ、精密かつ再現性の高いスループットレートでの使用を想定して設計されています。露出ヘッドは、2つの高解像度レンズとUVレーザーを備えた光学ツールです。このユニットは、さまざまな厚さとアスペクト比のフォトレジスト層を正確にパターン化することができます。また、大型ウエハやフラットパネルの高解像度・高スループット処理にも使用できます。TOKYO ELECTRON Mercury OCフォトレジストアセットは、薄膜層をパターン化する際の優れた解像度と品質を提供します。このモデルは特徴の精密な登録を可能にし、フォトレジストおよび基質の広い範囲を支えます。さらに、高度な光学コロナ技術により、大型ウエハやフラットパネルの処理速度とスループットが向上します。Mercury OCフォトレジスト装置は、正確で信頼性が高く、反復可能な性能を備えているため、ハイテク電子機器や関連部品の製造において好ましい選択肢です。