中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233654 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OCは、マイクロプロセッサ制御の回転蒸発源を使用したフォトレジスト装置です。このシステムは、フォトレジストの信頼性の高い分布を提供し、従来のシステムよりも精密な沈着を可能にします。真空ユニットを使用して、フォトレジストのミクロン薄層を基板に蒸発させます。蒸発源は回転プラットフォームに取り付けられ、真空チャンバーに含まれています。蒸発器は熱エネルギーの制御された源を含み、235°C。までヒーターの温度が可能です。蒸発源を回転させてフォトレジストを基板に均等に分配します。蒸発源の速度と蒸発源が引く熱エネルギーの量に基づいて蒸発速度を制御することができます。また、パルス周波数とパルス幅を調整してフォトレジストの解像度を向上させるパルスチューニング機能も備えています。この高度な機能は、ツールの柔軟性を高め、さまざまなプロセス要件を満たすように調整することができます。このアセットは、DUV （Deep UV）やI-Lineフォトレジストなどの標準的なシングルチャンバーフォトレジスト材料で使用するように設計されています。シリコンウェーハ、ガラス、石英、金属など幅広い基板加工が可能です。このモデルは、信頼性と再現性の高い結果を提供するように設計されています。それは正確な結果を保障するためにパルスチューニングパラメータを調整し、絶えず調節できる質の監視装置を特色にします。また、製造プロセスを簡単に監視および管理できる統合システムも備えています。単位はまた拡張可能です、従って異なった条件に合わせることができます。FSI Mercury OCは、フォトレジストを効率的かつ正確に処理する方法を提供します。その多目的な設計および調節可能な設定はフォトレジストの巧妙な処理を保障する柔軟性および信頼性を提供します。このマシンは、均一な蒸着、非常に制御可能な熱源、およびパルスチューニングパラメータの正確な制御など、優れた結果を提供します。このツールは、さまざまなアプリケーションに適しており、再現性と信頼性の高い結果を保証します。