中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233653 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OC（略称FSI Mercury OC）は、FSI International、 Inc。およびTEL Ltd。が開発したフォトレジスト加工装置です。マイクロエレクトロニクスデバイスの重要な部品であるフォトレジスト材料の製造に使用されます。TEL Mercury OCは、コンタクトイメージセンシング（CIS）と呼ばれる高度なレジスト処理技術を備えており、精密エッチングを保証し、非常に高い解像度と均一性で処理に抵抗します。このシステムは、基板から得られたデータを正確に読み取り、処理する高精度の光学ヘッドと独自のソフトウェアを使用しています。これにより、生産中のデバイスのプロファイルを分析しながら、必要な微細加工調整を行うことができます。Mercury OCはまた、過剰エッチングの問題なく高速な化学処理を可能にするユニークなケミカルデリバリーマシンを採用しています。また、製造工程中にチャンバの圧力、温度、相対湿度を継続的に監視するin-situ制御モニターを装備しています。これにより、ツールは一貫した高品質の結果を得るために最適な化学パラメータを維持することができます。TOKYO ELECTRON Mercury OCは、有機、無機、ハイブリッドシステムなど、幅広いフォトレジストや基板材料をサポートしています。業界標準のクリーニングおよびコーティング仕様に従ってテストされ、R&D研究所と大規模な生産設備の両方のニーズを満たしています。このアセットには、レーザスクライブや樹脂コーティングなどの高度な機能もオプションで用意されています。これにより、ユーザーは印刷されたデバイスが正確に整列されていることを確認しながら、マスキングプロセスを制御することができます。結論として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY OCは、高品質のマイクロエレクトロニクス機器の一貫した生産を保証する高度なフォトレジスト加工モデルです。その機能により、ユーザーはマスキングプロセスを正確に制御し、印刷されたデバイスを正確に配置することができます。その高度な技術とオプション機能により、研究開発室と大規模な生産施設の両方に最適です。