中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233652 を販売中

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ID: 9233652
ウェーハサイズ: 5"
Spray processor, 5" Single cassette, 5" Diameter, 14" A182-50MB Rotor / Turntable 5" Fed from central chemical distribution set up No separate chemical carts with chemical canisters.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OCは、ウェーハ上の高解像度回路パターンの生成を可能にするフォトレジスト装置です。最新の光学系やステージを活用することで、回路設計者が高い精度でパターンを生成できるハイエンドシステムです。このユニットは、よりタイトなピッチとタイトな公差を持つ小型部品の製造に特に適しています。FSI Mercury OCは、ウェーハ上で極めて高解像度のパターンを生成するために最新の技術を採用したハイエンドマシンです。高効率の電子ビームを利用しており、解像度をほぼ損なうことなく、微細なサイズに集中することができます。これにより、非常に小さなピッチサイズとタイトな公差で洗練されたパターンを書くことができます。また、最小の機能でも非常に多くの解像度を可能にするステージを備えています。光学分野では、TEL Mercury OCは、非常に小さなスポットサイズのパターンを作成できる強力な光学ツールを使用しています。これは、最も複雑な回路設計であっても、非常に小さなマイクロパターンから大きな複雑なフィーチャーパターンまで、幅広いサイズのパターンを作成できることを意味します。また、装置の光学系は、レーザーステージを利用して解像度と信頼性を向上させます。このタイプのステージは、システムが各機能を正確に配置することを可能にし、欠陥の可能性を減らし、時間を節約します。さらに、ハイエンド光学系は、より大きな出力制御とスループットの向上を提供します。最後に、Mercury OCはコンピュータ制御のプロセスコントローラを使用して、最も正確なパターン配置を保証します。これにより、すべてのパターンがエラーなく正確かつ確実に印刷されます。TOKYO ELECTRON Mercury OCは、ウェーハ上の高解像度回路パターンを製造するための強力で信頼性の高いユニットです。最先端の光学機械と最先端のプロセスを利用して、生産されたパターンが最高の品質と精度であることを保証します。これらの技術は、最も正確で信頼性の高いパターン配置を保証するために、コンピュータ制御のプロセスコントローラと組み合わされています。
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