中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233651 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OCフォトレジスト装置は、特定の基板上に精密に加工された材料の層に層を堆積させ、表面を沈殿させたり、積極的に形成するための高精度ツールです。このシステムは、MEMS、半導体、および関連産業内のさまざまな微細加工手順の研究開発およびパイロットスケール製造に適用されます。FSI Mercury OCユニットの標準的な機能は、フォトレジスト素材を基板に正確に塗布し、接触露光ツールまたは機械にある直接シリアルライティングツールを使用してフォトレジストパターンのパターンまたはプロファイルを正確に定義することです。フォトレジスト蒸着プロセスは、通常、電子回路の製造およびオプトエレクトロニクスデバイスの製造またはプロトタイピングに使用されます。接触露光ツールは、ツールで使用される事前に定義されたレチクルによって決定される正確なイメージングパターンを作成する責任があります。使用されているレチクルに応じて、高性能パターンを作成することができ、アスペクト比が大きく、長方形ではない形状、3Dマイクロストラクチャー、細かい線幅などの高度な機能を可能にします。TEL Mercury OCのダイレクトシリアルライティングプロセスは、フィルムパターニングの異なるイメージングパターンを実現するために、スキャン面の露出エネルギーを変調することです。Mercury OCアセットの全体的な性能は、優れた蒸着均一性、より高いプロセス速度、および膜厚の正確な制御を可能にするターボポンプ真空モデルを使用することにより、さらに強化されています。また、東京エレクトロンマーキュリーOCは冷却装置と湿度制御を備えており、より精密で再現性の高いプロセスを実現しています。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OCフォトレジストユニットは、包括的なフォトレジストシステムとして、さまざまな業界に高精度のパターニング機能を提供します。この機械は、高性能なエネルギー効率と正確なパターニングのために設計されており、MEMS、半導体、およびオプトエレクトロニクスデバイスの製造において最先端の選択肢となっています。