中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9233116 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OCは、ウェーハ表面の高精度かつ再現性の高いイメージングを実現するフォトレジスト装置です。ステッパーとスキャナーのモーションコントロールシステムを備えたシングルコラムスキャナで、ウェーハ上に高精度なパターンを作成できます。ステッパーとスキャナーのモーションコントロールユニットにより、フォトレジストを正確に配置して取り出すことができます。また、高解像度の光学イメージングツールと統合ビジョンアセットを備えているため、パターンの誤差を迅速かつ正確に検査できます。このモデルは、正と負の両方のフォトレジストを含む幅広いフォトレジスト材料で動作するように設計されています。最大0。1ミクロンの解像度で画像を生成することができ、非常に小さく複雑なパターンを生成することができます。また、自動洗浄システムを搭載しており、レジスト材の混乱を防ぐことができます。これにより、ユニットのピーク効率を維持し、パターンが一貫して正確に生成されることを保証します。このマシンは、イメージング機能に加えて、ウェーハの製造プロセスを合理化するために設計された他の機能を提供します。イメージセンサーを内蔵しており、ウェーハ表面にパターンを登録することができます。また、特許取得済みの「Auto Image Inspection」機能も備えており、高解像度でも一貫したパターン化された結果を保証します。FSI Mercury OCは、高度なプロセス技術で使用するために設計されています。半導体、MEMS、ナノスケールの製造プロセスでの使用に適しています。0。1ミクロンと小さい特徴を持つ非常に複雑な構造物の試作・製造に最適です。このツールは、マルチレベルMEMSやNEMS構造などの次世代電子部品の作成にも適しています。アセットはユーザーフレンドリーで操作が簡単で、高度なモーションコントロールと画像処理技術が組み込まれています。最新のコンピュータソフトウェアプラットフォームに基づいており、すべての一般的なフォトレジスト材料と互換性があります。このモデルはまた、長期的かつ信頼性の高い機械で長期的な投資を提供し、ウェーハ製造ニーズに効果的で費用対効果の高いソリューションを探している企業にとって理想的な選択肢となります。