中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9220294 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OCは、様々な基板上で高度なリソグラフィ処理を行うために設計されたフォトレジスト装置です。フォトレジストは、光にさらされると化学的に変化する物質です。この技術は、半導体デバイスの製造、印刷、医療機器の製造など、多くの産業で使用されています。FSI Mercury OCシステムは、FSI Venus ディープUVフォトレジストプラットフォームの拡張です。これは、4分の1以下のミクロンIC製造におけるリソグラフィープロセスのユニークなニーズを満たすために特別に開発されました。このユニットは、高効率の露出フィルム計画技術、高度なモーションコントロール、超高解像度（1µmまで）パターニング機能を組み合わせています。このマシンには、高度で洗練されたウェーハチャックと信頼性の高い光源が装備されており、広い領域に非常に集中して一貫した露出を提供することができます。これにより、露出プロセスが正確であり、最小のエラーとアーティファクトが保証されます。TEL Mercury OCツールは、高感度で信頼性の高いフォトマスクリソグラフィ資産を使用して、複雑なパターンをレジストに正確に転送します。プラス・マイナスのレジスト、有機・無機のレジスト、乾燥・湿式レジストなど様々なレジスト素材を正確に操作することができます。また、幅広い厚さと照明に対応し、正確で微調整された露光を提供します。また、Mercury OC装置は臨界寸法の面でも柔軟性を提供し、幅広い臨界寸法を達成することができます。高性能リソグラフィープロセスには、提供される露光の深さと重要な寸法を管理する能力が不可欠であるため、この能力は正確なパターン作成に不可欠です。また、高度なプロセス監視・制御メカニズムと精密なマイクロポジショニングシステムを組み合わせることで、優れたプロセス制御を実現しています。これにより、露光プロセスがスムーズに実行され、所望の正確なパターンを高速かつ高い歩留まりで達成できます。さらに、高度なオートメーション技術を搭載しており、信頼性が高く、低コストで大量生産が可能です。さらに、直感的なユーザーインターフェイスが装備されているため、使いやすく、トレーニングとセットアップ時間を最小限に抑えることができます。TOKYO ELECTRON MERCURY OCフォトレジストマシンは、高精度、高収率、低コストの高速生産を可能にする高度なリソグラフィーツールです。優れたプロセス制御、重要な寸法の柔軟性、正確な露出を実現し、ほぼすべての業界でリソグラフィにとって貴重なツールとなります。