中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury OC #9015074 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury OCフォトレジスト装置は、フォトリソグラフィープロセス用の超薄層またはミクロン厚のフォトレジストを精密に制御できるように設計されたケミカルコーティングシステムです。高精度フィルムコーティングと高精度な均一レジストを組み合わせることで、比類のない精度と再現性を実現します。1。2nm程度の薄層の厚さを制御できる精密フィルムコーティングツールを搭載しています。また、Drag Method、 Jet Drop Method、 Direct Dispense Methodの3つの独自のフィルムコーティング技術を採用し、コーティング精度と均一性を高めています。また、精密な均一なレジストを備えており、再現性のあるレジスト層の厚みを実現しています。このモデルは、高度なデバイス製造プロセスに不可欠な非常に狭い線幅を作成することができます。FSI Mercury OCフォトレジスト装置には、直感的な制御とプロセス監視機能を提供する強力なソフトウェアパッケージが装備されています。このソフトウェアにより、ユーザーはコーティングアルゴリズムを迅速に定義し、製品の市場投入までの時間を短縮できます。ソフトウェアはまた、リモート監視と制御機能をユーザーに提供するオプションのネットワーク接続が含まれています。これにより、さまざまなプロセスステップ間でデータを共有したり、リモート機器の診断とメンテナンスを行うことができます。また、業界標準プロトコルへの準拠により、統合されたトレーサビリティを提供します。この機能により、プロセスパラメータの追跡とロギングが可能になり、オペレータは簡単にデータを取得し、プロセスデータを改善し、規制遵守を維持することができます。TEL Mercury OCフォトレジストユニットは、信頼性が高く、劣化に耐性があります。さまざまな複雑なマイクロサーキット処理アプリケーションを処理するのに十分なパワフルで信頼性があり、フォトリソグラフィープロセスの不可欠な部分です。