中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9399075 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MPフォトレジストシステムは、半導体製造プロセスにおいてウェーハの加工に使用される効率的で信頼性の高いシステムです。基板上に薄く均一なフォトレジスト膜を形成するため、2段レジストコーティング工程を採用しています。このフィルムはウェーハのさらなる加工の基礎となり、最終製品の精度と信頼性に欠かせません。FSI Mercury MPは、最初のレジストコーティング前にウェーハの標準加熱ステージを使用します。これにより、表面温度がコーティングプロセスに最適であることが保証されます。次に、特殊なスピンスプレーヘッドが基板表面に均一なレジスト層を配置します。このフィルムは、レジストを基板に接合するためにオーブン内で焼成されます。2番目のレジストコーティングは、2番目のスピンスプレーヘッドまたは取り外し可能なパネルモジュールで行うことができます。使用するレジストの種類によっては、レジストが適切に付着することを確認するために異なるベーキング温度が必要になる場合があります。2番目のレジストコーティングが完了した後、基板の表面にエネルギーの層が適用されます。このエネルギーにより、レジストは静電気に反応し、ウェーハのさらなる処理に使用できるパターンを作成します。TEL Mercury MPは、信頼性の高い結果を生成するフォトレジストの適用のための効率的なプロセスです。システムは、レジストを基板上に正確に配置し、製品の最高品質を達成するために、最新の技術を利用しています。これにより、プロセスは信頼性が高く、半導体部品の製造に最適な選択肢となります。