中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9299003 を販売中

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP
ID: 9299003
ウェーハサイズ: 6"
Spray cleaning system, 6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON水銀MPフォトレジスト装置は、電子デバイス部品の加工用に設計された高度なフォトリソグラフィーツールです。このシステムは、ステッパー、多軸ステージ、フォトレジストで構成されており、高精度で均一な方法で様々なデバイスの表面に回路をパターン化することができます。ステッパーは単位の中心であり、放射線源がフォトレジスト材料の露出を提供することを可能にする。放射源は水銀蒸気ランプであり、他のステッパーシステムでは前例のない超高強度出力を誇っています。反復パターンを均一に正確に画像化できる光学系も搭載しています。フォトレジストマシンで使用される多軸ステージにより、露光時に部品を簡単かつ正確に再配置できます。これにより、広い範囲で均一なパターンが保証され、カスタマイズ可能なフォトリソグラフィープロセスが可能になります。さらに、このツールは複雑な設計規則に正確に従うことができ、複雑なレチクル形状にもマッチすることができます。FSI Mercury MPフォトレジストアセットに使用されるフォトレジスト材料は、優れた均一性と解像度を目指して設計されています。耐久性に優れ、露出によるダメージに耐え、すべての焦点レベルで優れた画像解像度を提供します。ステッパーと多軸ステージを組み合わせることで、優れた透明度と細かい線幅の映像を制作することができます。要するに、TEL MERCURY MPフォトレジスト機器は、電子部品の生産のための非常に信頼性が高く、汎用性の高いツールです。ステッパー、多軸ステージ、フォトレジストは優れた性能と精度を提供し、さまざまなフォトリソグラフィ用途に最適です。
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