中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281852 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MPフォトレジスト装置は、最高のフォトリソグラフィ要件を満たすために開発された高性能で汎用性の高いマスクアライナーです。FSI Mercury MPは、ストリップ状の材料を取り扱うメカニズム、2つの基板をサポートするプラットフォーム、自動焦点と厚さ制御、省電力乾燥光源、高精度スキャン、自動後処理機能など、幅広い機能を搭載しています。TEL Mercury MPには、高精度・高速測定を実現する独自の「高精度突起センサ」を搭載しています。使用される光源は、波長436nmのHe-Cdレーザーです。乾燥光源は、高い出力と低エネルギー消費を可能にし、フォトリソグラフィープロセスの迅速かつ正確なアライメントをサポートします。TOKYO ELECTRON Marcury MPは、ストリップ形状の材料処理によるフォトリソグラフィの1段階または2段階のプロセスにも対応しています。Mercury MPには2つの基板をサポートできるプラットフォームがあり、同時配置と厚さ測定が可能です。使用するスキャナは、リニアACサーボモータで、0。5 µmの再現可能な分解能を実現しています。表面スキャン精度も0。1 µmで、ドット形状の精密アライメントも0。2 µmです。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MPには、エッジカラーリング、スキャン、濃度調整などの自動処理もあります。マスクのアライナーのフレームは容易な操作を保障するように設計されており、基礎フレームは振動を防ぐように設計されています。さらに、FSI Mercury MPは、他のサブシステムの統合をサポートしているため、完全に自動化されたフォトリソグラフィーアプリケーションで使用することができます。TEL Mercury MPは、幅広い用途に対応したユーザーフレンドリーで先進的なシステムです。フラットパネルディスプレイ、太陽電池、MEMS、 ICファウンドリーなど、さまざまな業界での使用に最適化されています。このユニットは、高生産性と一貫したパフォーマンスのために特別に設計されています。このマシンには、便利なユーザーインターフェイス、強力な測定機能、およびユーザーエクスペリエンスを向上させる追加のデータ処理機能が装備されています。また、東京エレクトロンマーキュリーMPは、環境規制に適合し、光汚染や静電気の発生を最小限に抑えるよう設計されています。このツールは、信頼性の高い測定と迅速かつ正確なアライメントを提供し、フォトリソグラフィに最適な資産です。