中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281725 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MPは、半導体製造プロセスの解像度、速度、性能を大幅に向上させる先進的な設計を特徴とするフォトレジスト機器です。最先端のスキャンユニットを搭載し、直径200mmまでのウェーハ上にフォトレジストを直接撮影することができます。また、基板上のフォトレジストの正確な配置と除去のための高精度ロボットアームを内蔵しています。この機械には、ウェーハの正確な位置決めと制御のための電動ステージと振動絶縁ツールが装備されています。このアセットは、厳密なプロセス制御と正確な基板位置決めにより、正確な結果を提供するように設計されています。フォトレジストの精密なイメージングを可能にするイメージングおよび照明機器に高分解能のデジタル光学モデルを使用しています。このデジタル光学システムはまた、精密な製造プロセスのための精密で再現可能な露光を提供します。このユニットはオートローダーマシンを使用して、基板上の連続的で正確なフォトレジスト負荷を確保します。このツールには、基板上に均質なパターンを生成し、正確なフォトレジストアプリケーションを保証するユニークなランプとヘッドも組み込まれています。正確で反復可能な露出と正確なフォトレジストのローディングプロセスにより、異なるウェーハ間で迅速かつ正確な機能を提供します。また、絶縁システムや放射線吸収装置などの高度な安全機能を備えており、安全で安全なリソグラフィープロセスを保証します。このモデルは、製造プロセス中に正確な位置と速度制御を保証する強力な専用ドライブ装置によって駆動されます。フォトレジストの精密かつ再現可能な処理を可能にする制御および診断ツールの範囲が装備されています。このシステムには、パラメータとデータ統合のためのさまざまな制御システムが装備されており、プロセスを正確かつ再現可能に制御できます。全体的に、FSI Mercury MPフォトレジストユニットは、生産性、精度、プロセス制御を強化する強力で信頼性の高いマシンです。このツールは、優れた性能を提供し、半導体製造プロセスのための優れた選択肢です。安全で正確な製造プロセスを保証するために、さまざまな機能と安全機能を備えています。