中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9274762 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MPは、100nm以下の寸法を持つデバイスの超微細パターニングを可能にする「フォトレジスト」装置です。FSI Mercury MPは、電子ビームリソグラフィ、X線リソグラフィ、イオンビームリソグラフィ、ダイレクトレーザーリソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィなど、さまざまな方法でこの精密パターニングを達成できます。このシステムは、G線 248nmとI線 365nmの超微細フォトリソグラフィーレンズを使用して、最大線幅13。5nmの高解像度を提供します。また、電子ビームを精密に制御するためのデジタルビーム強度制御ユニットを採用し、高精度なパターニングと生産時のオーバーレイ精度の向上を実現しています。画像最適化のため、TEL Mercury MPは洗練されたダブルドットイメージング技術を備えており、同じパターンで2つの異なる画像を使用できます。高いスループットを確保するため、画像、パラメータ、マスクデータの高度な統合管理機能を備えています。これにより、技術者は生産現場でこの情報にシームレスにアクセスできます。この機械は、リソグラフィープロセスを正確に制御するためのプロセス条件の制御を可能にします。これには、温度、湿度、粒子制御、および空気清浄度が含まれ、機械単位で調整でき、すべてリアルタイムで監視できます。Mercury MPは、正確なパターニング機能に加えて、完全に自動化された製造プロセスを通じて、完璧なデバイス統合を提供します。これにより、リソグラフィ、エッチング、ローディング、マスキングプロセスを正確に制御し、高収量、高精度のデバイス生産を可能にします。さらに、プロセス制御は、オンボードの高度な制御ユニットによって支援され、生産を即座に調整することができます。最終的に、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MPツールは、最高の解像度と精度で超微細なデバイスサイズを生産できるように設計されています。このフォトリソグラフィ資産は、最先端のデバイス製造にとって貴重なツールです。