中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9271639 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MPは、東京エレクトロニクスと共同で開発したフォトレジスト機器です。フォトレジスト層をウェーハ上に露出させることで半導体ウェーハ上の望ましいパターンを実現するためのハイスループットツールです。高い性能と精度を持ち、多種多様なパターンを生み出す強力なシステムとなっています。露出機、ウェーハ前処理ツール、露出後ベーキングアセット、トラックモデルを備えています。露光装置は、強烈な露光パターンを生成できるレーザー露光源と、ウェーハのフォトレジスト層に露光パターンを正確に配置できる自動ビジョンシステムを利用しています。これにより、生成されたパターンが高精度で高精度であることが保証されます。ウェハプリトリートメントユニットには、洗浄、洗浄、乾燥ステップを組み合わせた自動スピンドライヤサイクルがあり、露出前にウェハに汚染物質がないようにしています。露出後のベーキングマシンは、優れたイメージング性能に必要なフォトレジスト層の均一な高温ベークを提供します。最後に、トラックツールは、安全で効率的で反復可能な結果を保証するように設計された機械的および電気的システムで、最高レベルの負荷とアンロード性能を提供します。アセットには設置面積が小さく、大容量を提供しているため、コンパクトな加工機器のための費用対効果の高いソリューションです。このモデルの特徴は、性能、精度、およびスループットの強力な組み合わせを提供し、半導体ウェーハ上のさまざまなパターンを作成するのに最適です。この装置は操作が容易で、既存の半導体製造プロセスに組み込むことができます。