中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9269944 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MPは、プロセス制御と最適化のために設計されたフォトレジスト装置です。電子デバイスの製造に使用され、半導体業界で広く使用されています。FSI Mercury MPは、光と化学の両方の方法を使用して一貫した高分解能フォトリソグラフィ結果を達成する自動レジストストリッピングシステムです。これは、カスタマイズ可能な露出制御とレジストレイヤーの最適化を可能にする高度な設計を利用しています。高出力の赤外線ランプが抵抗の層を取り除くのに短い波長ライトを使用するフォトリソグラフィのプロセスを行うのに使用されています。光の強度は慎重に監視され、望ましいフォトリソグラフィの結果を達成するために幅広い値に調整可能です。この機能は、露出過多や露出不足に抵抗するリスクや、他のフォトレジスト関連の問題を最小限に抑えるのにも役立ちます。TEL Mercury MPには、高度なケミカルウォッシュユニットも装備しています。この機械は効果的に形成のために望まれる部品だけを残す抵抗の層の露出された部品を取除くように設計されています。これは、チャンバーに化学溶液を導入し、ワーク上に浸水させることによって行われます。最後に、Mercury MPはレジストプロセスを最適化するように設計されたソフトウェアスイートを備えています。これは、フォトレジストツールからのデータを分析し、光強度を調整し、全体的なプロセスステップを監視するために使用することができます。これにより、製造時の制御と柔軟性が向上し、レジストストリッピングプロセス中のサイクルタイムが短縮されます。TOKYO ELECTRON Mercury MPは、高効率で信頼性の高いフォトレジストです。その高度な設計は、市場の他のシステムよりも制御が改善され、解像度が向上し、効率が向上します。自動化された機能は、産業用フォトリソグラフィにも最適です。このモデルは、信頼性の高い、費用対効果の高いソリューションを必要とする企業にとって理想的な選択肢です。