中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9250089 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON水銀MPフォトレジスト装置は、集積回路やマイクロストラクチャーの製造用に設計されたリソグラフィーシステムです。これは、スキャンされたレーザー光露出レジスト被覆基板に基づいており、化学プロセスで開発されています。FSI水銀MPユニットは248nmの波長と0。3の数値開口を備えています。基板に正確なパターンが生成されるように、レーザービームの形状と位置を自動的に検出して調整することができます。レゾネータは、スループットと画質をさらに向上させるように設計されていますが、RLS （Reticle Level Control）マシンは正確なオーバーレイアライメントを保証します。システムには、パターンイメージを28nmまで配信できる高度なイメージングツールとフォトマスクツールが含まれています。アセットは、ボディパターニング用とコンタクトパターニング用の2つのフォトマスクで構成されています。フォトマスクは、複雑なマスクオーバーレイアライメントとフォトレジストプロセス最適化を可能にするairgapイメージングソフトウェアによってサポートされています。このモデルは、スピンコーティング、接触および投影印刷、ナノメートルスケールでの露出など、さまざまなリソグラフィープロセスに使用できます。直径4〜8インチの幅広いウエハサイズに対応しています。さらに、装置内蔵の温度制御ユニットは、優れたプロセス安定性を保証します。TEL Mercury MPシステムは、優れたイメージング機能とタイトなプロセス制御を提供し、優れたフォトレジストの均一性を提供します。また、迅速なイメージングとプロセスのターンアラウンドタイムを可能にし、パターニングコストを削減し、部品の再加工を最小限に抑えます。これにより、高速で正確なイメージングと効率的なプロセス制御が不可欠なアプリケーションに最適です。