中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9207075 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MPは半導体製造用フォトレジスト装置です。システムは、メインプロセッサユニット、デジタル制御サブシステム、液体およびガス処理アームで構成されています。メインプロセッサユニットには統合されたソフトウェアがあり、フォトレジストプロセスを柔軟に制御できます。パターニング、コンタクトレジスト開発、エッチングなどのフォトレジストプロセスを幅広く提供し、高精度で信頼性の高い半導体デバイスの製造を可能にします。デジタル制御サブシステムは、VMEバスとユニットを管理するグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。高速取得ユニット、駆動装置、リアルタイム制御機能を備えています。制御ツールの柔軟性により、ユーザーはパラメータを調整し、リアルタイムでプロセスを監視することができます。液体およびガス処理アームは、半導体装置の表面へのフォトレジスト溶液の供給を担当しています。フォトレジストをデバイス表面に正確に分配する高性能ノズルアセットを搭載しています。ノズルモデルは、フォトレジストのインテリジェントな分布を可能にするさまざまな圧力勾配ノズルを備えています。さらに、ノズルはデバイスの表面にノズルを整列するためのアークキットが装備されています。FSI Mercury MPは、安全で効率的な運用とメンテナンスのために設計されています。スイッチガードを装備しており、機器のオン/オフの誤った切り替えを防止します。また、異常が見つかった場合は自動的にシャットオフするように設計されています。このユニットは低消費電力で動作し、低塵運転用に設計されています。TEL Mercury MPは、歩留まりの良い高精度な半導体デバイスの製造に使用するために設計されています。フレキシブルなデジタル制御サブシステムと効率的な液体およびガス処理アームを備えており、幅広い生産プロセスで使用することができます。低消費電力と低塵運転により、半導体業界にとって魅力的な選択肢となっています。