中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9160992 を販売中

FSI MERCURY MPは、FSIの最先端フォトレジストシステムです。これは、最も要求の厳しいアプリケーションのニーズを満たすように設計されたツールと機能の完全なスイートを提供します。高度な解像度、卓越した精度、一貫したプロセス性能により、MERCURY MPはすべてのフォトレジスト要件をカバーします。FSI MERCURY MPは、最先端の光学系と力学系を使用して、最高の精度の性能を提供し、マイクロリソグラフィにおける感光層の厚さと露光時間を微調整することができます。このシステムには、内蔵のマルチラディアントヘッド、自動レベリングおよびスプレー制御、自動洗浄/洗浄オプション、自動コーティングおよびベーキングオプションなどの多数のアクセサリーも装備できます。MERCURY MPには、外部コンピュータとの接続、リモートアクセスと制御、またはより大きな自動ワークフローへの統合も可能です。この機能により、オペレータの所要時間が大幅に短縮され、フォトレジストプロセスを完了するために必要なステップの総数が減少します。さらに、オープンアーキテクチャ設計により、FSI MERCURY MPを使用すると、ユーザーは新しいソフトウェアツールを迅速に採用して統合することができます。全体として、MERCURY MPは、精度、再現性、精度を保証する信頼性の高い一貫したフォトレジストプラットフォームを提供します。FSI MERCURY MPは、ハイエンド設計、先進技術、および容易な統合により、あらゆるマイクロリソグラフィ用途に最適なソリューションです。