中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293622268 を販売中

FSI MERCURY MPフォトレジスト装置は、Ferro-Software Instruments （FSI）によって製造された生産スケールの機械です。このシステムは、ナノメートルレベルで非常に厳しい公差を持つ高精度の幾何学構造を製造するように設計されています。用途に応じて、5nm〜150 μ mのサイズの機能を生成することができます。このマシンには、フォトレジストに露出する前に、必要なパターンでレジストをスピンコーティングできる標準のレジスト加工チャンバーが付属しています。レジスト露出チャンバーには、2つのレーザーダイオードアレイと可動開口が装備されており、可変開口露出ユニットを使用してレジストの正確な露出を可能にします。露出プロセスは露出された抵抗が均一であることを保障し、それによって一貫した結果を提供します。露出後、レジストは機械の硬化室で硬化します。硬化プロセスは、レジストが基板への構造的完全性と接着性を維持するために不可欠です。MERCURY MPマシンは、レジスト全体に均一な露出を確保するために硬化プロセスのための統合された専用の加熱ユニットを持っています。このデバイスには、自動レジスト除去および洗浄ステーションもあります。露出したレジストを取り外した後、レジストは脱イオン水とレジスト除去剤の組み合わせで洗浄され、基板上のクリーンで残留性のない表面を確保します。自動洗浄ステーションには、残留化学物質を引き出すためのインライン真空ツールも備えています。最後に、FSI MERCURY MPには標準の走査型電子顕微鏡（SEM）が付属しています。この追加ツールは、基板の品質を評価して、プロセスの次の段階を続行する前に欠陥がないことを確認するのに役立ちます。全体として、MERCURY MPは、ナノメートルレベルで高精度の幾何学構造を生成することができる高精度の生産スケールのフォトレジスト資産です。それは堅い許容を維持するように設計されています、最小限の欠陥と一貫した結果を作り出します。