中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293595917 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MPは、半導体、マイクロエレクトロニクス、その他の基板上の高精度パターンの製造に使用するために設計されたフォトレジスト機器です。MPはシングルプラットフォーム、ハイスループット、完全自動化されたソリューションで、比類のない再現性と精度でファインラインと3Dフォトレジストパターンの生産を可能にします。このシステムは、真空負荷ロックチャンバー、プログラム可能なアライメントユニット、およびプログラム可能なスピンコーティング機構で構成されています。このマシンは、高精度の登録のためのデジタルイメージングツールと露光のためのLEDベースの光源を備えています。真空負荷ロックチャンバーは、クリーンな資産環境を確保し、大気圧を必要とせずに工具交換を可能にします。プログラム可能なアライメントモデルにより、プロセスチャンバー内の基板の自動配置とアライメントが可能になります。スピンコーティング機構は、基板の中心から端までの均質な厚さと均質な膜を持つフォトレジストフィルムを適用するように設計されています。デジタルイメージング装置は、基板とレジストの自動測定、整列、位置決めを行うための高精度登録を備えています。0。5um以下の登録精度を実現します。LED光源は、異なる角度と露光時間でバックライトとブラックライトを分離し、露光時間に柔軟性を与え、より高い精度と精度で露光を繰り返すことができます。MPは、さまざまなフォトレジスト材料に対応するのに十分な柔軟性があり、異なる厚さの基板を配置するように設計されています。このシステムは、特定の領域ごとにほこり、汚染物質、および粒子を減らすように設計されており、負のプロセスや添加プロセスなどのフォトレジストプロセスの配列で使用することができます。一言で言えば、FSI Mercury MPは、再現性、精度、精度の高い信頼性の高い生産を提供する汎用性の高いフォトレジストユニットです。これは、最高の汎用性と柔軟性を提供する高スループット機能を備えたシングルプラットフォームソリューションです。