中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293587873 を販売中

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ID: 293587873
Spray cleaning system PFA Turntable, 8" (2) Canister consoles: Console 1: H2SO4, HCL, Dilute HF Console 2: H2O2, NH4OH Frame Valves Tube Canisters Spray post Flow meters: Gas / SCCM H2SO4 / 200-2000 SCCM HCL / 20-500 SCCM Dilute HF / 100-2000 SCCM H2O2 / 20-500 SCCM NH4OH / 20-500 SCCM DI Mix / 200-2500 SCCM (2) Drains: N/O, N/C, drain valves Dual exhaust Control system with touchscreen, 15" FSI Helios 52 DI Water heater with touchscreen, 5" IR Heater Operating system: Windows 10 IoT.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MPは、半導体デバイスの製造に使用されるフォトマスクを作成するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。FSI Mercury MPは、高度なレーザーリソグラフィ技術を使用して、高度なプロセス操作と正確な露出制御を実行し、非常に高解像度のフォトマスクの生産を可能にします。TEL MERCURY MPは、ネイティブのSEMI露出および計測基準を使用して、信頼性の高い性能と可能な限り最高品質のフォトマスクの製造を保証します。このシステムは、人間工学に基づいたオペレーターコンソールとグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、迅速なセットアップと操作を可能にします。TOKYO ELECTRON MPは、二重露光機能と強化された露光制御のために、2〜3個の露光レーザーを採用しています。このユニットは、オーバーレイ機能を備えたHDTVアライメントマシンを備えており、各フォトマスクステップの正確なアライメントを保証します。このツールはまた、非接触計測機能を提供し、イメージングパラメータのキャリブレーションとパターンの検査を可能にします。さらに、Mercury MPは高度なビーム診断アセットを備えており、レーザービーム性能の非常に詳細な測定を提供します。このモデルは、レーザー露光に関連するイメージング収差やその他の変数の補正を可能にすることにより、歩留まりを改善します。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON水銀MPは、これまでにない焦点と被写界深度を持ち、従来のリソグラフィーシステムよりもはるかに広い範囲で細かいパターンを作成することができます。これにより、非常に大規模で複雑なフォトマスクの高速で信頼性の高い生産が可能になります。FSI Mercury MPはフォトレジストシステムのペースセッターです。最先端のレーザーリソグラフィ技術と精密な制御の組み合わせにより、最も効率的な方法で最高品質のフォトマスクを可能にします。これにより、TEL Mercury MPは、正確に制御されたフォトマスクの製造を必要とするあらゆるアプリケーションに理想的な選択肢となります。
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