中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #192650 を販売中

FSI MERCURY MPは、生産環境で信頼性の高い再現性の高いパフォーマンスを提供するように設計された高性能デジタルフォトレジスト機器です。このシステムは、高精度マイクロパターニングのための高度なプロセス制御アルゴリズムと組み合わされた、実績のある高解像度光学イメージングソースを備えています。高度な半導体デバイス製造における超微細ライン用途に適しています。単位の決断は1,000ミクロン以上であり、優秀なイメージの質のための5つ以上のミクロンの精密はさみ金の間隔の多数の層を扱うことができます。FSI独自のユニバーサルパターンジェネレータ（UPG）技術と特許取得済みのプロセス制御アルゴリズムを備えた、高度で高解像度の光学イメージングソースを備えています。集束イオンビーム（FIB）アライメントとパターニングを行い、複数のレイヤーで均一な線幅と間隔を実現します。このツールはまた、最適化された統合されたプロセスレシピを備えており、あらゆるタイプの基板で最適な結果を提供します。高いアスペクト比でデバイスのパターニングを可能にする高仕様の光学系と、イメージング波長よりも小さい機能を内蔵しています。この資産はまた、複数のリンスオプション、反射防止コーティング、特定のプロセス要件に適したシールド材料の範囲を提供しています。MERCURY MPは歩留まりを最大化し、サイクルタイムを最小限に抑えるように設計され。このモデルは、すべてのインシデントと動作パラメータが追跡されることを確実にするために、統合されたセンサーとデータロギングツールを備え、最高水準の品質を維持しています。また、さまざまなオンボードプロセスレシピも含まれています。この機器は、最新のテクノロジーとの互換性を確保するために、新しいリリースごとに更新されるプロセス監視と制御のための包括的なソフトウェアスイートを提供します。これは、高度なハードウェア監視、フィードバックシステム、インテリジェントなステップバイステップのプロセス最適化アルゴリズムと組み合わせて、品質管理と再現性を最大化します。全体として、FSI MERCURY MPは、高精度フォトレジスト用途向けの包括的で洗練されたソリューションを提供します。生産環境において、歩留まりを最大化し、市場投入までの時間を短縮しながら、信頼性の高い反復可能なパフォーマンスを提供するように設計されています。