中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i #9358787 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-iは、高精度パターニング用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。サブミクロン分解能で基板上の微細構造のエンボス加工が可能です。内蔵ユニットには、プラズマ強化化学蒸着チャンバー（PECVD）、スピンコーター、露出ヘッドを搭載し、製品アプリケーションのプロセス工程を最適化します。PECVDチャンバーは、シリコンウェーハ、サファイアウェーハ、セラミック基板などの基板にフォトリソグラフィーグレードのフォトレジストコーティングを堆積するために使用されます。スピンコーターは、基板上のレジストコーティングの均一な分散を最適化し、滑らかで均一なコーティングを保証するために使用されます。露出ヘッドは「、ステップアンドリピート」と「ステップアンドスキャン」の両方の機能を使用して、コーティング基板に高解像度（1ミクロン未満）のフォトマスクパターンを提供します。この高感度マシンは、広範囲にわたって均一性を確保しながら、0。25ミクロンより小さい機能を解決することができます。スピンコーターと露出ヘッドに加えて、このツールには自動化されたトラックとツーリングアセットも含まれており、プロセスラインの高速な変更を可能にします。モデルに統合されたソフトウェアは、ユーザーに画像データと高度なパターン認識機能へのアクセスを提供します。この機能により、フォトマスク上のフォトレジストパターンを識別し、コーティング基板に正確に転送することができます。FSI Lithius Pro V-iフォトレジストシステムは、業界をリードする設計、安全性、プロセス自動化機能を備え、セットアップと使用が簡単です。ユニットのすべてのコンポーネントは最高品質であり、信頼性と一貫した結果を保証します。その精度、速度、拡張性、柔軟性、低コストにより、最も要求の厳しいフォトリソグラフィーアプリケーションに最適なマシンです。