中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K150 #293624501 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K150フォトレジスト装置は、半導体製造における高精度フォトリソグラフィープロセス用に設計された自動装置です。石英、シリコン、ポリイミドなど多種多様な材料を用いて、薄い基板の様々な層を超微細に物理的にパターン化するために使用されます。このシステムは、4つの光学ステージ、精密スキャンステージ、および高出力レーザーユニットを使用して、正確な機能を正確かつ正確にパターン化します。最初の光学ステージには、キヤノン20x顕微鏡と5カメラのフォトカードマシンが搭載されており、正確な監視と測定が可能です。このステージでは、すべてのイメージングコンポーネントのアライメントチェックも行います。ロボットアームに取り付けられた2番目の光学ステージには、ズームレンズとパターニングミラーが含まれており、正確な画像処理が可能です。第3光学ステージに長焦点距離対物レンズを搭載し、基板を拡大し、細部まで記録することができます。最後に、第4光学ステージには、高出力のUV光源、基板を支えるキャストベースプレート、レーザービームを正確に導くさまざまなポジショナーとアクチュエータが収納されています。FSI K150 Photoresist Assetの制御ツールは、自動化されたイメージングプロセスを担当しています。また、さまざまな通信プロトコルを使用することができ、外部機器との容易な統合を可能にします。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、ユーザーはシステムを構成し、パラメータと仕様を設定し、ユニットのパフォーマンスを監視できます。TEL K150 Photoresist Machineには、不具合を検知して報告できる自己診断ルーチンも搭載しており、必要に応じて即時の是正措置が可能です。このツールは、0。1から1ミクロンのサイズまでの特徴をパターン化することができ、精度は+/-5 nm、解像度は1-10 nmです。その高品位のコンポーネントとメカニズムは、長期的な耐久性と一貫した動作を保証します。K150 Photoresist Assetの高品質のイメージングツール、正確で制御されたプロセス、優れたオートメーションにより、高度で要求の厳しいフォトレジスト作業に最適なソリューションです。