中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K131 #9244159 を販売中

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K131
販売された
ID: 9244159
ウェーハサイズ: 4"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4" Maximum: 1000 rpm.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K131 Photoresist Equipmentは、FSI International、 Inc。とTEL Limited (TOKYO ELECTRON)によって開発された、コンパクトで使いやすい半導体サンプル処理システムです。このユニットは、半導体業界の数千の小規模MEMS、 GaAs、および半導体メーカーにプロフェッショナルレベルのウェットエッチング機能を提供するように設計されています。ウェーハにフォトレジストソリューションを適用するための統合コンベアスタイルのディスペンサー、正確な深さにエッチングするための統合された精密モーションコントロール、フォトレジスト残留物を除去するための統合クリーニング機能を備えています。また、優れたスループットと優れた均一性を提供します。FSI K131 Photoresist Toolは、業界標準のPCB加工技術(スピンコーティング、フォトリソグラフィ、フォトレジストストリッピング、ディップコーティングなど)を使用して、ウェーハ上で望ましいエッチング結果を生成します。従来のカートリッジベースのデリバリーアセットを使用して、あらかじめ決められた量のフォトレジストソリューションをウェーハに分配します。スピンコーティングにより、フォトレジストを正確な設定で適用し、最大限の均一性を実現します。フォトリソグラフィは、ウェーハ上のフォトレジストをパターン化するために使用され、希望するデザインにエッチングすることができます。TEL K131 Photoresist Equipmentは、統合された精密モーションコントロールモデルを使用して、ウェーハ上のエッチングの正確な深さを達成することができます。この高度なエッチング制御技術は、複雑な機能をエッチングする際に最高レベルの精度、信頼性、再現性を保証します。また、高圧および低圧噴霧器を備えた高度な洗浄機能を搭載し、フォトレジストの残留物をすべて除去します。TOKYO ELECTRON K131 Photoresist Unitは、コンパクトで低コストのパッケージで、高性能で優れた歩留まりを提供します。直感的な操作と使いやすいインターフェイスにより、プロフェッショナルレベルのウェットエッチング機能を手頃な価格で必要とする中小規模の半導体メーカーに最適です。このマシンは優れたスループットを提供し、1分間に最大3つのウェーハを生成し、反復可能で均一な結果をもたらします。K131 Photoresist Toolは、サンプルプロセスの品質と生産性を向上させるために、あらゆる小規模半導体メーカーにとって不可欠なツールです。
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