中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K100 #9099908 を販売中

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K100
ID: 9099908
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 1983
Spin rinse dryer, 4" 1983 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K100は、FSI、 Ltd。が開発した、高度な露光・イメージング技術を駆使し、幅広い精密フォトリソグラフィープロセスを実現するフォトレジスト機器です。このシステムは、高度な3Dインターコネクト、マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)、フォトイメージングなどの高精度タスクを含む、IC製造アプリケーションでの使用を想定して設計されています。FSI K100ユニットは、露光機、露光コントローラ、イメージングツールの3つの主要コンポーネントで構成されています。被曝アセットは、基板上の特定の領域に正確な超微細被ばく放射線を供給するために使用されます。マイクロメーターマニピュレータに搭載された露出モデルは、露出パラメータを非常に正確かつ正確に制御することができます。さらに、露光装置には基板形状に合わせて調整可能な広い視野(FOV)が含まれており、非常に正確な画像登録が可能です。露出コントローラは、露出プロセスを制御するために使用される一連の高度な画像処理アルゴリズムで構成されています。これらのアルゴリズムは、最小ワット数の使用で高品質の結果を保証するために露出設定を最適化するように設計されています。さらに、露出コントローラはイメージングシステムと連動して動作するように設計されており、正確さと高速スループットを保証します。イメージングユニットは、ナノ秒でピクセル応答時間を持つ超高解像度の画像を検出するように設計されています。これにより、画像の歪みを最小限に抑えて非常に細かい機能を検出できます。さらに、イメージングマシンには、画像アーティファクトが重複することを避けるために使用されるクリーンなイメージング方法が含まれています。TEL K100のフォトレジストツールは、高精度で再現性の高いリソグラフィープロセスを提供するように設計されています。これには、効率的で経済的な製造に必要な速度で高解像度の画像を生成する画像のアライメントとイメージャ処理が含まれます。さらに、K100資産は、ポリイミド、シリコン、ガラスなどの幅広い基板を扱うことができ、非常に汎用性が高く、さまざまな用途に適しています。トーキョーエレクトロンK100フォトレジストモデルは、リソグラフィのための非常に先進的な装置であり、その高度な部品は、エネルギー使用量を最小限に抑えながら、露出パラメータを正確かつ正確に制御することができます。このシステムは、IC製造アプリケーションでの使用に適しており、高度なイメージングユニットにより、画像の歪みを最小限に抑えた超高解像度の画像を検出することができます。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K100フォトレジストマシンは、優れた結果を提供し、様々な基材に適しています。
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