中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON HELIOS 52 #293640333 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON HELIOS 52は、半導体業界のリソグラフィに使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジスト材料や絶縁膜の開発・露出に使用されます。このマシンは、正確で信頼性の高いイメージングを提供し、現代的な設計要件に必要なレジストを提供します。FSI HELIOS 52は、高性能なマルチイメージングステージを採用しており、安定した光学性能を確保し、製造プロセスを改善するための幅広いイメージング精度を提供します。システムは2つのモーター、ステッピングモーターおよびガルバノメーターミラーから成っています。精密ステッピングモータは細かいインライン変位を制御し、ガルバノメーターは素早いインプレーン移動を制御します。光学レンズは5倍の対物レンズで構成され、1インチウェーハで最大1。15ミクロンの高解像度イメージングを実現します。専用の低歪みミラーケージを使用して、より高い精度を実現できます。TEL HELIOS 52は、温度制御された湿度チャンバーを備えており、温度、湿度、露出条件を一定のレベルで維持するように設計されており、フォトリソグラフィ作業に特に重要です。また、イメージングプレーンの微細な位置決めとアライメントのためのスキャナー位置検出器も含まれています。この機械は、ドライポール、2成分の化学処理ユニットを使用してフォトレジスト材料をエッチングし、フォトレジスト材料をすすぎて処理残留物を除去します。このマシンは、高いオーバーレイ精度と短いスループット時間を必要とするプロセスのために特別に設計されています。また、自動レジスト処理カセット、ドライフィルム開発カセット、露出カセットを装備し、ダウンタイムと負荷時間を短縮します。HELIOS 52は、フィルムの均一性を継続的に制御することにより、高いスループット、精度、歩留まりを持つさまざまなパターンの信頼性の高い露出が可能です。最先端のフォトリソグラフィーマシンは、半導体産業のために設計されており、最先端のデバイス生産に適しています。その機能は、効果的で信頼性の高い精密イメージングツールをお探しの方に最適です。