中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON EXCALIBUR #9137323 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON EXCALIBURは、100nmまでの高精度画像を実現するフォトレジスト機器です。デジタルとアナログの両方のフォーマットで高速で高解像度の画像を生成することができます。このシステムは、露出ユニット、電動ステージ、チャンバー、フォトレジストユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。この露光機には、回折した光を基板に向けるための照明源、均一な照明を作るためのディザリングモーター、光の強度を制御するためのシャッター、ビームを集中させるための光学レンズが含まれています。モーターを備えられた段階は露出された区域を見つけるために部屋のまわりで基質を動かすために責任があります。チャンバーは、基板を加工する際に高い精度を可能にする真空を作成するのに役立ちます。フォトレジストユニットは、画像の異なる層の適用に使用されるフォトレジストの正しい化学組成を提供します。このツールは、電動ステージに基板を配置し、露出する必要があるチップ上の異なるポイントに照明ソースの下に基板を移動することによって動作します。露出源を制御することで、画像領域が照らされ、フォトレジスト内の化学物質が活性化されます。基板を次の点に移動し、同じ手順を繰り返します。フォトレジストの化学物質は、露光源からの光に反応して、後に画像になる基板上の層を作成します。プロセスが完了すると、基板は、必要な化学物質で基板を回転させ、洗浄するための機械を含む、開発のためのチャンバーに移動されます。これは、クリーンで高解像度の画像を残して、余分なフォトレジストを洗い流すのに役立ちます。FSI EXCALIBURアセットは、デジタルとアナログの両方のフォーマットで高精度で高品質の画像を作成するための高度なフォトリソグラフィープロセスでの使用に適しています。高度な電動ステージ機能を使用して画像の精度を最大化し、出力が可能な限り最高品質であることを保証します。基板を素早く加工することも可能で、短期間で大量生産が可能です。このモデルは、信頼性の高い高性能フォトレジストソリューションをユーザーに提供するように設計されています。