中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Excalibur ISR #293760314 を販売中

FSI EXCALIBUR ISRは、最先端のフォトリソグラフィープロセスとアプリケーションのニーズを満たすように設計された世界クラスのフォトリシストシステムです。この高度なシステムは、フォトレジスト処理の用途の範囲を拡大し、デジタルイメージングとフォトニクスの世界にフォトリソグラフィをもたらします。EXCALIBUR ISRは、中規模および大量生産環境向けに設計されています。48ビットの色深度、7秒のサイクルタイム、500プロジェクト/分の処理速度を備えた高性能スキャナを搭載しています。統合されたマイクロディスペンシングシステムは、ナノリットルの精度と再現性を備えたアップリケ操作を可能にします。統合されたRoll-to-Roll （R2R） Webトランスポートにより、フォトレジストの大きなロールのシームレスな処理も可能になります。一貫して創造的なパターンを作成するために、FSI EXCALIBUR ISRには多くのソフトウェア駆動機能が搭載されています。Job Editor、 Pattern Library、 Variable-Dot Size （VDS）機能、Pattern Transform （PT）ツールなどがあります。ジョブエディタを使用すると、フォトリソグラフィープロセスの値と設定を簡単に調整できます。Patternライブラリは、一般的なフォトレジストプロセスに使用可能なジョブを提供します。VDSツールを使用すると、エンジニアはプロセス中にパターンサイズと形状を迅速かつ正確に変更できます。最後に、PTツールを使用すると、パターンをターゲットエリアサイズに自動的に調整できます。EXCALIBUR ISRにより、最先端のフォトリソグラフィープロセスを迅速かつ正確に完了できます。洗練された機能、強力なプロセッサ、アジャイルなWebトランスポートにより、複雑で高速で高精度なフォトレジストプロセスに理想的なプラットフォームを提供します。全体として、FSI EXCALIBUR ISRはフォトリソグラフィーツールボックスに不可欠なツールであり、優れた性能と精度で高度なphotolithopアプリケーションを完成させることができます。