中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON / DESPATCH CT200 #9355259 を販売中

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON / DESPATCH CT200
ID: 9355259
System.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON/DESPATCH CT200は、高性能で高精度なフォトレジスト機器です。このシステムは、さまざまな半導体市場の高度なフォトリソグラフィ要件を満たすように設計されており、最も洗練された半導体コンポーネントを製造するための超精密化学処理プラットフォームを提供します。FSI CT200は、真空ファンインまたはスピンオンフォトレジストパターンを生成するために、さまざまな独自の技術を利用しています。非接触式のダイレクトライトメソッドとマイクロファブリケーション技術を組み合わせたユニットで、ナノメートルレベルでも複雑で非常に詳細な機能を作成できます。このマシンは、すべてのプロセスコンポーネントをガイドする高度に洗練されたロボット制御ツールと、さまざまなアプリケーションに合わせたさまざまなソフトウェア設定を備えています。TEL CT200は、高解像度イメージスキャナと高速パターン移動アセットを使用して、最大解像度10umのレジストに超精密なパターン書き込みを可能にします。ユーザーがプログラム可能なフォーカスと露出設定は、各アプリケーションの特定の要件に合わせて調整できます。このモデルは、連続またはセグメント化されたパターンを印刷することもできます。CT200は、基板を前処理するための真空フレーマーを組み込み、配置およびアライメントプロセスを管理します。それは1。5の光学深さと同時に4"まで基質を処理できます。標準露光時間は20ミリ秒で、1時間あたり最大2,000枚の画像を印刷できます。DESPATCH CT200は、さまざまな半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計されています。優れた性能と正確な制御により、このシステムは複雑なフォトリソグラフィ用途に最適です。
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