中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON / DESPATCH CT200 #9355258 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON/DESPATCH CT200 Photoresist Equipmentは、主にシリコンウェーハ製造時の精密プロセス制御に使用される光化学処理システムです。フォトレジスト加工工程を1つのユニットに統合し、優れた性能を発揮するように設計されています。この機械はフォトレジスト技術を使用して感光性の化学物質を基板に堆積させ、光源にさらされてコーティングにパターンを作成します。このパターンは、最終デバイスに必要に応じて開発、エッチング、またはクリーニングすることができます。FSI CT200は、プロセスパラメータを最大限に精密に制御するための独自の2チャンバーツールを備えています。プロセスチャンバーはフォトレジストプロセスを実行するために使用され、トランスファーチャンバーは汚染のないチャンバ間の基板を移動するために使用されます。このアセットは、紫外線から赤外線までの波長にフォトレジストフィルムを堆積して露出することができます。このモデルには、プロセスの温度と圧力を監視するセンサーが装備されており、正確で再現性のある結果を得ることができます。装置にはデータロガーも装備されており、プロセスデータの恒久的な記録を提供します。フォトレジストシステムは、感光膜を高精度に堆積・露出させることができ、半導体デバイス製造、リソグラフィー、フォトリソグラフィー、レジスト酸化、高度なパッケージングなど、幅広い半導体プロセスに適しています。また、特定のプロセスのレシピを生成することができるコンピュータ制御マシンを備えており、品質保証の向上とスループットの向上を可能にします。ソフトウェアパッケージは、プロセスパラメータの管理、プロセス温度のリアルタイム監視、アラームの設定、データのロギングが可能です。TEL CT200フォトレジストツールは、高精度デバイスを効率的に製造しようとする半導体メーカーにとって優れた選択肢です。アセットの高精度、再現性、自動化された制御機能により、さまざまなプロセスアプリケーションでの使用に適しています。