中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP #9233650 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MPは、FSI International、 TEL、 Lam Researchが開発した高性能フォトレジスト装置です。それは優秀なフィルム沈殿物の結果、小さい足跡および最高の柔軟性を提供するように設計されている自動化されたプロセスソリューションです。このシステムは、調節された硝酸蒸気供給ユニットを使用して、フォトレジスト材料をウェーハにスプレーします。その後、ウエハを露出し、紫外線に加工します。このマシンは、2つの真空チャンバーを使用することを意味する「デュアル」チャンバーレイアウトで設計されています。フロントチャンバーは大量の真空圧力を保持し、フォトレジスト材料をウエハ上に分散させる前に最適な状態で保持するために使用されます。このチャンバーは、露出前のウェーハの前処理にも使用されます。背面チャンバーは紫外線光源への露出に使用されます。このチャンバーには複数のカートリッジが装備されているため、複数のウェーハを一度に処理できます。サターンMPアセットは、優れた厚さの均一性、柔軟性、高速応答時間を提供することができます。また、オンザフライ調整のための複数のプロセスコントロールも装備されています。加熱されたチャンバーは650°Cまでの温度が可能で、モデルにはプラズマエッチングチャンバーを装着することで、プロセスの柔軟性を高めることができます。統合ツールは、全体の処理時間を最大70％短縮するように設計されています。超低減衰機能により、振動を最小限に抑え、乱れを最小限に抑えた動的なプロセス調整が可能です。そのモニター/アラーム機器は、システムの健全性とパフォーマンスをリアルタイムで報告します。Saturn MPユニットには、統合されたマルチウェーハローダーまたはロボットアーム、またはオンボードガス搬送および回収機などの高度なオプション機能も備えています。さらに、統合されたレシピツールにより、ボタンを押すだけでアクセスできる最大15種類のプロセスレシピを柔軟に保存できます。結論として、FSI Carts for Saturn MP assetは、優れたフィルム沈殿結果、小型フットプリント、および最大限の柔軟性を提供するインテリジェントに設計された自動プロセスソリューションです。これは、任意のフォトレジストデザイナーのための強力なツールです。